非接触三次元測定機インフィニートフォーカスG5+

インフィニートフォーカスG5+の測定原理

焦点移動法インフィニートフォーカスG5+は、特別な測定原理「焦点移動法」を採用しています。
左図のように焦点深度の浅いレンズを使用し、Z軸を走査しながら焦点があった部位を連続して取り込みます。
Z軸のエンコーダーとCMOSセンサーがXYZの座標系を認識し、高密度の点群データとして3Dデータを生成することが可能です。
また、CMOSセンサーを使用しているため、フルカラーでデータを確認することが可能です。
3Dデータは測定事例集を確認ください。

インフィニートフォーカスの利点

測定機_非接触光学式_3次元測定機_アリコナアリコナ社のインフィニートフォーカスシリーズは測定原理が「焦点移動法」であるため、「サンプルを傷つけない」、「測定スピードが速い」、「広範囲で複雑形状を高精度に測定出来る」非接触三次元測定機となっております。

接触式の三次元測定機ではプローブが表面に傷を付けてしまったり、3Dスキャナーでは精度が低いため条件を満足できなかったりします。また、表面形状測定だけでなく、粗さ測定も可能であるため、1台2役と言う形でお使いいただくことが可能です。

インフィニートフォーカスG5とG5+の変更点

インフィニートフォーカスG5は80°以上の急峻面※1での測定精度が向上し、高精度での垂直方向のデータ取得が可能です。
インフィニートフォーカスG5+は、更にバーティカル・フォーカス・プロービングと言う新たな測定方法を開発しました。
それにより、非接触三次元測定機は不可能とされてきた90度の立壁や穴の内径を測定することが可能となりました。
90度の立壁が測定出来ると、基準となる面を測定しつつ幾何公差を解析することが可能となります。
非接触三次元測定機で穴の内径が測定出来る測定機は、インフィニートフォーカスG5+以外では、非接触門型三次元測定機のµCMMしかありません。


※1:急峻=傾斜が急で険しいこと。表面状態により測定できる角度は異なります。

インフィニートフォーカスG5+の優れた点

インフィニートフォーカスG5+は高精度かつ測定スピードが速いため、最小10nmの垂直分解能を誇り、最短3秒の高速測定が可能となりました。
XY軸の走査範囲は200mm×200mmとなり、広い範囲の測定も可能です。
ワーキングディスタンス※2が広いタイプのレンズを採用しているため、段差・高低差の大きなサンプルの測定にも最適となっております。
レーザー顕微鏡や他社の三次元測定機では測定できない複雑形状のサンプルでも、インフィニートフォーカスG5+であれば、リングライトと落射照明の組合せにより簡単に測定することが可能です。
また、その際の測定範囲の設定も直観的に範囲指定することが可能なため、従来の非接触三次元測定のイメージからはかけ離れた測定が可能です。

ワーキングディスタンス インフィニートフォーカスG5では、10、20倍レンズでワーキングディスタンスの広いHXタイプをリリースいたしました。
インフィニートフォーカスG5+では、更に5倍レンズから4倍レンズに変更し、XY方向の取り込み範囲を広くし、測定スピードを向上させることに成功しました。

※2:試料とレンズの距離、100倍レンズでは4.5mmで業界最大距離

非接触三次元測定機で全周測定

非接触三次元測定機用回転ユニットアドバンストリアル3Dオプションの回転ユニットリアル3Dシリーズにより、360°の全周データを取得でき、回転工具などのすくい面形状・面粗さを把握することが可能です。
そのため、従来の非接触三次元測定機では考えもしなかった角度からのアプローチや解析が可能となりました。
アドバンストリアル3DG2 Pneumaticでは、5個の球を測定前に解析することにより、測定精度が格段に向上しました。

バリエーションの豊富な解析ソフトウェア

断面形状解析・線粗さ・エリア粗さなどの非接触三次元測定機におなじみの標準ソフトウェアを搭載。
自動測定も簡単にティーチインが可能となっており、工数削減に寄与しております。
他にも差分測定(形状比較計測)等の様々なオプションの解析ソフトウェアをラインナップ。
工具摩耗解析また、Wear Measurement Module(工具摩耗解析モジュール)という、工具の摩耗を連続的に解析な能なソフトもあり、工具の新たな解析ソフトとして注目されております。
いずれも直観的で、様々な使い方において簡単な操作で解析が可能です。

非接触三次元測定機の導入実績

導入事例インサートや回転ユニットを使用する回転工具の切削工具業界の実績が最も多くなっております。
次いで自動車産業、金型、電子部品、航空宇宙産業に実績もあります。
近年は特に自動車産業への導入実績が増加しております。
また、航空宇宙産業からの引き合いが増加傾向にあります。
その他にも医療用インプラント、印刷、科学捜査、大学および国家研究機関への実績もあり、具体的には県の工業技術センターや産業技術センター、東京大学にも実績がございます。
企業様では製造現場や品質管理を強化する目的での導入が多くなっております。

測定データの信頼性

PTB(ドイツ国立物理工学研究所)までトレーサブルなキャリブレーションを行っております。
PTBとは日本の産業技術総合研究所のような機関で、世界的に、特にヨーロッパにおいて権威のある研究所となります。PTB認証ツール

カタログダウンロード、製品ラインナップ

非接触三次元測定機カタログダウンロードバナー非接触三次元測定機製品ラインナップバナー非接触三次元測定機測定事例集
非接触三次元測定機導入事例集

詳細仕様

全般仕様
測定原理 焦点移動法にもとづく非接触三次元測定
測定結果 表面性状を最大3.5Mバイトの3D情報をもとに
高精度かつリアルカラーで表示
測定テーブル移動距離 200mmx200mm
垂直方向移動距離 100mm
測定機重量 110-125kg
環境温度レンジ 15–30°C(キャリブレーション時は18–22°C)
環境湿度レンジ 推奨範囲:40–50%、許容範囲:30–60%
測定機サイズ(WxDxH) 810x640x700(Max948)mm
対物レンズ仕様
対物レンズの倍率 2.5倍 4倍 10倍 20倍 50倍 100倍
最小水平分解能 μm 7.04 4.32 1.76 0.88 0.64 0.44
最小垂直分解能 nm 2300 450 100 50 20 10
ワーキングディスタンス mm 8.8 30 17.5 19.0 11 4.5
視野範囲(X方向) μm 5630 3970 1620 810 320 160
視野範囲(Y方向) μm 5630 3970 1620 810 320 160
HXタイプ対物レンズの倍率 10倍 20倍
最小水平分解能 μm 1.76 1.17
最小垂直分解能 nm 250 80
ワーキングディスタンス mm 37 30
視野範囲(X方向) μm 1620 700
視野範囲(Y方向) μm 1620 700