非接触三次元測定機インフィニートフォーカスG5+

目次

インフィニートフォーカスG5 plusの測定原理

焦点移動法インフィニートフォーカスG5 plusは、ユニークな測定原理である「焦点移動法」を採用しています。
左図のように焦点深度の浅いレンズを使用し、Z軸を走査しながら焦点があった部位を連続して取り込みます。
Z軸のスケールとCMOSセンサーでXYZの座標系を認識し、高密度の点群データとして3Dデータを生成することが可能です。
また、CMOSセンサーを使用しているため、フルカラー情報を含む3Dデータを取得することが可能です。
3Dデータの事例は測定事例集を確認ください。

インフィニートフォーカスG5 plusの特徴

測定機_非接触光学式_3次元測定機_アリコナアリコナ社のインフィニートフォーカスシリーズは測定原理が「焦点移動法」であるため、「サンプルを傷つけない」、「測定スピードが速い」、「広範囲で複雑形状を高精度に測定出来る」非接触三次元測定機となっております。

接触式の三次元測定機ではプローブが表面に傷を付けてしまったり、3Dスキャナーでは精度が低いため条件を満足できなかったりします。また、表面形状測定だけでなく粗さ測定も可能であるため、多機能な測定機となっております。

インフィニートフォーカスG5からの変更点

インフィニートフォーカスG5は80°以上の急峻面※1での測定精度が向上し、高精度での垂直方向のデータ取得を可能にしました。
インフィニートフォーカスG5 plusは、更にバーティカル・フォーカス・プロービングという新たな測定機能を搭載し、非接触三次元測定機は不可能とされてきた90度の立壁や穴の内径を測定することが可能となりました。
90度の立壁が測定出来ると、立壁面を基準面とした幾何公差の解析をすることが可能となります。
非接触三次元測定機で穴の内径が測定出来る測定機は、インフィニートフォーカスG5 plusと非接触門型三次元測定機のµCMMしかありません。


※1:急峻=傾斜が急で険しいこと。表面状態により測定できる角度は異なります。

インフィニートフォーカスG5 plusの優位点

インフィニートフォーカスG5 plusは高精度かつ高速測定を実現します。最小10nmの垂直分解能を誇り、最短3秒の高速測定が可能となりました。
XY軸の走査範囲は200mm×200mmとなり、XY方向での広範囲測定も可能です。
ワーキングディスタンス※2が広いタイプのレンズを採用しているため、段差・高低差の大きなサンプルの測定にも最適となっております。
レーザー顕微鏡や他社の三次元測定機では測定できない複雑形状のサンプルでも、インフィニートフォーカスG5 plusであれば、リングライトと落射照明の組合せにより簡単に測定することが可能です。
また、その際の測定範囲の設定も直観的に範囲指定することが可能なため、操作や条件設定が複雑な従来の非接触三次元測定のイメージを覆す、ユーザーフレンドリー性の高い測定機です。

ワーキングディスタンス インフィニートフォーカスG5では、10、20倍レンズでワーキングディスタンスの広いHXタイプをリリースいたしました。
インフィニートフォーカスG5 plusは、更に5倍レンズから4倍レンズに変更し、XY方向の取り込み範囲を広くし、測定スピードを向上させることに成功しました。

※2:試料とレンズの距離、100倍レンズでは4.5mmで業界最大距離

回転ユニットを利用しての全周測定

非接触三次元測定機用回転ユニットアドバンストリアル3D回転ユニットリアル3Dシリーズを併用する事で、360°の全周データを取得できます。回転工具などの形状測定や幾何公差解析・フルート面の粗さ解析などに有用なオプションです。
従来の非接触三次元測定機では考えもしなかった角度からのアプローチや解析が可能となりました。
アドバンストリアル3DG2 Pneumaticでは、自動チャッキングが出来るため自動化にも対応しています。

バリエーションの豊富な解析ソフトウェア

断面形状解析・線粗さ・エリア粗さ解析などの非接触三次元測定機で使用頻度の高い解析機能は標準ソフトウェアとして搭載しています。
自動測定を実現するための機能やソフトウェアもパッケージとしてご用意しておりますが、お客さま毎のご要望に合わせたカスタマイズにも対応致しま
す。

他にも差分解析(形状比較計測)等の様々なオプションのソフトウェアをラインナップ。
工具摩耗解析また、Wear Measurement Module(工具摩耗解析モジュール)という、工具の摩耗を連続的に解析な能なソフトもあり、工具の新たな解析ソフトとして注目されております。
いずれも直観的でシンプルな操作で解析が可能です。

非接触三次元測定機測定事例集非接触三次元測定機導入事例集

非接触三次元測定機の導入実績

導入事例インサートや回転ユニットを使用する回転工具の切削工具業界の実績が最も多くなっております。
次いで自動車産業金型、電子部品、航空宇宙産業に実績もあります。
近年は特に自動車産業への導入実績が増加しております。
また、航空宇宙産業からの引き合いが増加傾向にあります。
その他にも医療用インプラント、印刷、科学捜査、大学および国家研究機関への実績もあり、具体的には県の工業技術センターや産業技術センター、東京大学にも実績がございます。
企業様では製造現場や品質管理を強化する目的での導入が多くなっております。

トレーサビリティー

PTB(ドイツ国立物理工学研究所)までトレーサブルなキャリブレーションを行っております。
PTBとは日本の産業技術総合研究所のような機関で、世界的に、特にヨーロッパにおいて権威のある研究所となります。PTB認証ツール

カタログダウンロード、製品ラインナップ

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非接触三次元測定機導入事例集

仕様

全般仕様
測定原理 焦点移動法にもとづく非接触三次元測定
測定結果 表面性状を最大3.5Mバイトの3D情報をもとに
高精度かつリアルカラーで表示
測定テーブルストローク(XY) 200mm x 200mm
垂直方向ストローク(Z) 100mm
測定機重量 110-125kg
環境温度レンジ 15–30°C(キャリブレーション時は18–22°C)
環境湿度レンジ 推奨範囲:40–50%、許容範囲:30–60%
測定機サイズ(W x D x H) 810mm x 640mm x 700(Max948)mm
対物レンズ仕様
対物レンズの倍率 2.5倍 4倍 10倍 20倍 50倍 100倍
最小水平分解能 μm 7.04 4.32 1.76 0.88 0.64 0.44
最小垂直分解能 nm 2300 450 100 50 20 10
ワーキングディスタンス mm 8.8 30 17.5 19.0 11 4.5
視野範囲(X方向) μm 5630 3970 1620 810 320 160
視野範囲(Y方向) μm 5630 3970 1620 810 320 160
HXタイプ対物レンズの倍率 10倍 20倍
最小水平分解能 μm 1.76 1.17
最小垂直分解能 nm 250 80
ワーキングディスタンス mm 37 30
視野範囲(X方向) μm 1620 700
視野範囲(Y方向) μm 1620 700

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