インフィニートフォーカスSL

非接触三次元測定機でコンパクト

インフィニートフォーカスG5と同様の白色LED(光学式)を使用した非接触型三次元測定機で、センサー部や全体的なサイズをコンパクトにしたタイプです。
一般的なデスク上に置いても、ぴったり収まるサイズになっております。
しかし、測定方式はインフィニートフォーカスG5と同様となっており、精度もほぼ同一のものとなっております。
これは大きさの異なる非接触型三次元測定機には珍しいタイプとなります。
また一つの特徴として、インフィニートフォーカスG5は、リングライトがオプションであるのに対して、インフィニートフォーカスSLは標準装備となっております。

焦点移動法光学系のZ軸を走査し、イメージセンサーで焦点があった部位の画像を連続して取り込みます。
高密度の点群データとして、非接触で3次元データを生成する「焦点移動法」を採用。
非接触型三次元測定機なので、プローブなどで測定対象に傷を付けず測定することが可能。

非接触型三次元測定機の利点

SLとはSmall Laboratoryの頭文字をとった略語です。
それは様々な場所で使用できるコンパクトな非接触型三次元測定機でありながら、上位機種と同等の性能を有していること言うことを意味しております。
そのため世界中で人気の三次元測定機となっております。
近年、非接触型三次元測定機は人気となっており、様々な研究機関や工場に納めております。
導入実績XYテーブルは50×50mmの電動ステージとなっており、Z軸は手動で130mmの移動可能で、自動で26mm動くため、様々な形状のサンプルを精密に測定することが可能。
上位機種でオプションのリングライトを標準装備しており手動での取り換えが可能。
ワーキングディスタンスの広いSXレンズも用意しているため、複雑形状の多い自動車産業、航空宇宙、金型、医療系デバイスの分野で活用しております。

非接触型三次元測定機における急峻面測定

非接触型三次元測定機にとって、これまで不可能であった85°以上の急峻面※1を高精度で測定可能。
標準装備のリングライトだけではなく、センサーもパワーアップしたため、急峻面の測定が更に簡単になりました。
急峻面24個セグメント独立制御のリングライト照明を標準装備しており、ハレーションを抑える偏光ディスクをオプションにてラインナップ。
反射率の異なる測定物に対しても照明の当て方を調整可能なため、急峻面や複雑形状のサンプルの測定が容易となりました。


※1:傾斜が急で険しいこと。表面状態により測定できる角度は異なります。

高解像度&ハイスピード測定

最小分解能20nm※2で、ワンショット数秒で測定が完了。コンパクトな非接触型三次元測定機の中でも随一の測定精度を誇っております。
測定データの重ね合わせをすることにより、高精度でかつ広い範囲のデータを取得することが可能となりました。
また、測定データの重ね合わせも独自の要素で行うため、速く、しかし精度は重ね合わせの箇所が分からないレベルです。
三次元測定機の分解能上位機種のインフィニートフォーカスG5と同様に、コンパクトな機体なのに、ミクロンからサブミクロンレベルの精度保証を裏付ける高分解能な非接触型測定機です。

※2:50倍のレンズ使用時の最小分解能

広いワーキングディスタンス

非接触型三次元測定機なので、段差・高低差の大きなサンプルの測定にも最適となっております。
垂直方向(Z軸方向)に高低差が大きいサンプルはレンズに干渉することが多いですが、ワーキングディスタンス※3が広いため、安心して測定を行うことが可能となっております。

ワーキングディスタンス標準のレンズにおいて広いワーキングディスタンスを確保しており、複雑形状のサンプルの測定に適しております。 更にSXレンズと言う高ワーキングディスタンスのレンズも用意しており、50倍のレンズで13mmと言う非接触型三次元測定機ナンバーワンの広さを実現しております。
垂直走査で取り込み出来る範囲が広く、複雑形状に対する対応力は他の測定機の追随を許しません。


※3:レンズと試料の間の距離

バリエーション豊富なソフト

インフィニートフォーカスG5と同様にプロファイル解析・線粗さ・エリア(面)粗さ・体積解析などのソフトウェアを標準搭載。
ISOに準拠した高精度の粗さ測定を行うことが可能。
そのため、形状測定機と粗さ測定機の一台二役の機能を有しております。
非接触型のため、接触型に比べプローブの届かないくらい細かな部分の解析も行えます。
差分測定(形状比較計測)・自動測定(OK/NG判定機能)等の様々なオプションの解析ソフトウェアをラインナップしており、コンパクトでも非接触型三次元測定機ならではの満足いただける性能を有しております。プロファイル解析

粗さ解析

CADデータや様々なデータ出力方法

2次元の断面データをTXT、DXF、CSVファイルにて出力可能。
3DデータをSTLファイルに変換し、3次元CADデータとの照合による図面形状とサンプルとの比較も容易です。
測定データをPDFに変換可能なため、レポートの作成も容易となります。
3Dデータを様々な角度から見ることが可能なため、正面図、上方図、鳥瞰図などの写真をJPG、PNG等の画像ファイルにしていただくことも可能です。
もちろん、近年注目されているリバースエンジニアリングにも対応しております。
レポート出力

高いコストパフォーマンス

上位機種のインフィニートフォーカスG5の測定精度と測定時間を継承し、設計を小型化する事で高いコストパフォーマンスを実現。
非接触型三次元測定機に望まれていた省スペース化に寄与し、取り回しの良い、満足度の高い機種なっております。

非接触型三次元測定機で360°全周測定可能

オプションの回転ユニットにより360°の全周データを取得でき、回転工具やネジなどの複雑形状・面粗さを把握することが可能です。
また、オプションのソフトを使用して測定データを重ね合わせることにより、3次元データを作成することが可能です。(Real3Dフュージョン機能)
非接触型で360°の全周データが測定出来る三次元測定機はほとんどありません。
同じ非接触型である3Dスキャナーよりも高精度かつ正確な測定が可能となります。

重ね合わせ

ダウンロード

資料のダウンロードはこちらにて取り扱っております。
海外製品ではありますが、英語ではなく日本語のカタログを取り揃えております。
その他、デモやお値段等の詳細なご質問は、弊社営業までご連絡ください。

全般仕様

測定原理 焦点移動法に基づく光学式非接触三次元測定
(非接触型三次元測定)
測定結果 表面性状を最大3.5Mバイトの3D情報をもとに
高精度かつリアルカラーで表示
Z軸手動移動量 130mm
Z軸取込範囲 26mm
電動ステージ 50x50mm
測定機重量 15kg
環境温度レンジ 15–30°C(キャリブレーション時は18–22°C)
環境湿度レンジ 推奨範囲:40–50%、許容範囲:30–60%
測定機外寸(WxDxH) 195x316x418mm

対物レンズ仕様

対物レンズの倍率 10倍 20倍 50倍
最小水平分解能 μm 2 1 0.64
最小垂直分解能 nm 100 50 20
ワーキングディスタンス mm 17.5 13 10.1
視野範囲(X方向) μm 2000 1000 400
視野範囲(Y方向) μm 2000 1000 400
SXタイプ対物レンズの倍率 2倍 5倍 10倍 20倍 50倍
最小水平分解能 μm 10 4 2 1 0.64
最小垂直分解能 nm 3500 510 130 70 45
ワーキングディスタンス mm 34 34 33.5 20 13
視野範囲(X方向) μm 10000 4000 2000 1000 400
視野範囲(Y方向) μm 10000 4000 2000 1000 400