インフィニートフォーカスG5

非接触式三次元測定機の測定原理

インフィニートフォーカスG5は、既存のレーザー顕微鏡に代表される共焦点方式のような、非接触式三次元測定機の基礎となる測定方法を採用している測定機とは異なり、白色LED(光学系)を使用した非接触式三次元測定機です。

焦点移動法光学系のZ軸を走査しながら焦点があった部位の画像をイメージセンサーで連続して取り込み、3Dデータを高密度の点群データとして生成する「焦点移動法」を採用している、珍しい測定機です。
非接触式三次元測定機のため、測定対象に傷を付けずに測定することが可能となります。

非接触式三次元測定機の利点

接触式三次元測定機が使用されていた分野にて、「サンプルを傷つけたくない」、「測定スピードをもっと速く」、あるいはもっと広い意味の測定機として「プローブ(スタイラス)やレーザーなど、測定方法に依存しない広い測定範囲で複雑形状の測定がしたい」などの要望が増えております。
また、世界各国との差別化を図るため、各産業において精密な測定を必要とする製品が開発され、3次元CADデータとの照合のニーズが増加し、緻密な品質保証条件が必須となり、同じ非接触式の3Dスキャナーよりも高精度かつレーザー顕微鏡よりも測定スピードの速い三次元測定機の重要性が高まっております。

インフィニートフォーカスSLアリコナイメージング社のインフィニートフォーカスシリーズは測定原理が「焦点移動法」であるため、「サンプルを傷つけない」、「測定スピードが速い」、「広範囲で複雑形状を高精度に測定出来る」非接触式三次元測定機となっております。
また、コンパクトなサイズのインフィニートフォーカスSLや刃先を自動測定してくれるエッジマスターエッジマスターXカスタマイズが可能なX-LARGEもご用意しております。

非接触式三次元測定機の急峻面の測定

非接触式三次元測定機にとって、これまで測定が不可能であった85°以上の急峻面※1での測定精度が向上し、高精度で3Dデータの測定が可能になりました。

急峻面上記の測定原理と点群数の増加により、従来機種よりも格段に測定可能な角度が向上。
ハレーションを抑える偏光フィルターを内蔵しており、様々な角度から光を当てることのできるリングライトをオプションとしてラインナップしているため信頼性が格段に向上しております。


※1:急峻=傾斜が急で険しいこと。表面状態により測定できる角度は異なります。

非接触式三次元測定機はハイスピード

高精度化を実現し、最小10nmの垂直分解能※2と最短4秒の高速測定※3が可能となりました。
そのため、公差の小さい測定サンプルに対しても、分解能の良いレンズを使用することにより、寸法や粗さに関する信頼性のある、高解像度のデータを高速で得ることが可能です。
三次元測定機の分解能ミクロンからサブミクロンレベルの精度保証を裏付ける高分解能な測定機です。高精度で画像をつなぎ合わせるため、広範囲において高密度3Dデータを提供します。

※2:業界最高精度
※3:ワンショット(一画面)での測定+画像処理時間、業界最速

走査範囲とワーキングディスタンス

ワーキングディスタンス※4の広いレンズを採用した非接触式三次元測定機なので、段差・高低差の大きなサンプルの測定にも最適となっております。
レーザー顕微鏡や他社の三次元測定機では測定できない複雑形状のサンプルでも、インフィニートフォーカスシリーズであれば、簡単に測定することが可能です。
また、その際の測定範囲の設定も直観的に範囲指定することが可能なため、従来の非接触式三次元測定のイメージからはかけ離れた測定が可能です。

ワーキングディスタンス他の測定原理※5による三次元測定機と比較し、広いワーキングディスタンスを確保しております。
特に50倍や100倍などの高倍率の対物レンズでは顕著です。
また、新たに10、20倍レンズでワーキングディスタンスの広いHXタイプ※6をリリースいたしました。

※4:試料とレンズの距離、100倍レンズでは4.5mmで業界最大距離
※5:レーザーや白色光による共焦点測定法、干渉計など
※6:ワーキングディスタンスが広いタイプ

非接触式三次元測定機で全周測定

非接触式三次元測定機ではかなり珍しいオプションの回転ユニットにより、360°の全周データを取得でき、回転工具などのすくい面形状・面粗さを把握することが可能です。
そのため、従来の非接触式三次元測定機では考えもしなかった角度からのアプローチや解析が可能となりました。

また、オプションのソフトを使用して測定データを重ね合わせることにより、3次元データを作成することが可能です。(Real3Dフュージョン機能)
重ね合わせも光学系の白色LEDを使用した非接触式三次元測定機のため、XYZの座標系の3次元データだけではなく、色味(RGB)なども含めて重ね合わせを行うため、つなぎ目もわからないほど精巧な重ね合わせを実現しました。
歯車(ギア)や回転工具を扱うメーカーや部署に好評な機能です。

フュージョン機能

バリエーションの豊富な解析ソフトウェア

プロファイル解析・線粗さ・エリア粗さ・体積解析などの三次元測定機におなじみの標準ソフトウェアを搭載。
形状測定機と高精度の粗さ測定機の一台二役の機能を有しており、ISOにも準拠した高精度の粗さ測定を行います。
用途に応じてレンズを変更することで、更に精度の高い解析が可能です。
平面度やサンプルの姿勢を変えて直角度を測定することが可能です。

また、差分測定(形状比較計測)・自動測定(OK/NG判定機能)等の様々なオプションの解析ソフトウェアをラインナップ。
いずれも直観的で、様々な使い方において簡単な操作で解析が可能です。
(英語、ドイツ語だけではなく日本語のバージョンもございます。)

プロファイル解析
粗さ解析

CADデータの入出力、様々なデータ出力方法

2次元の断面データをテキストファイルにて出力可能。
STLフォーマットにより、3次元CADデータとの照合による図面形状とサンプルとの正確な比較も容易です。
また近年の非接触式三次元測定機に必須となるリバースエンジニアリングにも対応しております。
測定データをPDFに変換可能。レポートの作成も容易となります。

レポート出力機能

非接触式三次元測定機の導入実績

導入実績インサートなどの切削工具業界、回転ユニットを使用する回転工具、微細精密加工への実績が最も多くなっております。次いで自動車産業、金型、電子部品、航空宇宙産業に実績もあります。
近年は特に自動車産業への導入実績が増加しております。また、航空宇宙産業からの引き合いが増加傾向にあります。
その他にも医療用インプラント、印刷、科学捜査、大学および国家研究機関への実績もあり。
製造現場や品質管理を強化する目的の企業様が多いです。

測定データの信頼性

PTB(ドイツ国立物理工学研究所)までトレーサブルなキャリブレーションを行っております。
PTBとは日本の産業技術総合研究所のような機関で、世界的に、特にヨーロッパにおいて権威のある研究所となります。PTB認証ツール

ダウンロード

カタログのダウンロードはこちらにて取り扱っております。
海外製品ではありますが、英語ではなく日本語のカタログを取り揃えております。
その他、デモやお値段等の詳細なご質問は、弊社営業までご連絡ください。

仕様

全般仕様
測定原理 焦点移動法にもとづく光学式非接触三次元測定
(非接触式三次元測定機)
測定結果 表面性状を最大3.5Mバイトの3D情報をもとに
高精度かつリアルカラーで表示
測定テーブル移動距離 100mmx100mm(200mmx200mm:カスタマイズ可能)
垂直方向移動距離 100mm
測定機重量 105-120kg
環境温度レンジ 15–30°C(キャリブレーション時は18–22°C)
環境湿度レンジ 推奨範囲:40–50%、許容範囲:30–60%
測定機サイズ(WxDxH) 810x640x700(Max948)mm
対物レンズ仕様
対物レンズの倍率 2.5倍 5倍 10倍 20倍 50倍 100倍
最小水平分解能 μm 7.04 3.52 1.76 0.88 0.64 0.44
最小垂直分解能 nm 2300 410 100 50 20 10
ワーキングディスタンス mm 8.8 23.5 17.5 19.0 11 4.5
視野範囲(X方向) μm 5630 2820 1620 810 320 160
視野範囲(Y方向) μm 5630 2820 1620 810 320 160
HXタイプ対物レンズの倍率 10倍 20倍
最小水平分解能 μm 1.76 1.76
最小垂直分解能 nm 250 100
ワーキングディスタンス mm 37 30
視野範囲(X方向) μm 1620 700
視野範囲(Y方向) μm 1620 700